第298章 装犊子（第3页）

极紫外光源看不到希望，157纳米，进展也不怎么顺利，咱们的浸没式，反而是最为可行的。”

唐缺一点都不着急。

他坚信，普拉多最终还会同意的。

只是这个时候，布鲁塞尔的光学会议还没有召开，以老板普拉多为代表的阿斯麦尔，面对新的技术路线，还没有丝毫的准备。

在最高端的技术上，已经投入大量的资金，现在突然转向，很难。

不是一蹴而就的。

所以，得给普拉多一些时间。

唐缺心态放松，但是张如京却绷紧了弦。

“实在不行，咱们就去找尼康合作。”

尼康，是小日子的公司。

而且尼康的193纳米的光源，最后一个镜头，是凸面，没办法使用水进行折射。

就算尼康想要用现有的193纳米光源改浸没式，也要重新设计光源，麻烦的很。

但是阿斯麦尔这边，不存在这个问题，阿斯麦尔和尼康的技术路线略有差异，最后一个镜头透镜，是平面的，直接做一层水膜折射，完全没有问题。

唐缺说了技术路线问题。

张如京自然立刻理解。

对他来说，这种程度的技术，根本都不能算作技术。

他苦笑道：“看来，咱们只能和阿斯麦尔合作了。”

唐缺呵呵道：“也不一定。

万一人家不同意呢。

那咱们就回去自己研究。

反正也就是在现有设备上，加一层水膜，进行折射。”

现在，钟芯手里，也有不少193纳米的光刻机。

只是同样193纳米，由于精度还有光刻胶之类的东西的不同，能达到的效果，也有很大的不同。

现在的193纳米，最极端的也就能做出65纳米的芯片。

但是浸没式，再经过各种技术改进，四十，二十八，十四，最高做到了七纳米的芯片。

在未来二十年，都是主流。

而更先进的极紫外光源也就是euv，其实早就被提出来了，但是到了十几年后，才逐渐成熟。

唐缺现在要搞定的，是193纳米浸没转换成132纳米光源，然后才是euv。

第二天中午十点的时候，张如京在宾馆里急的来回踱步，普拉多终于联系他们了。

“张，唐，我们有了决议。”

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