第78章 理论准备晶圆加工的技术链（第6页）

为什么多喷嘴喷射冷却，能够提高散热效率。

分段式砂轮的刀片结构，为什么可以降低砂轮厚度。

这些他们一时都搞不明白。

但众人清楚。

既然江阳说出来，至少理论上，已经没有太大的问题。

所以他们要做的，就是事无巨细地将每一个字记下来。

然后再去慢慢实验。

会议一直持续到晚上。

才终于结束。

除了j5060碳化硅砂轮切片机外。

江阳在后面。

还提到化学机械抛光设备、光刻设备和真空镀膜等设备的问题。

这些设备，华国基本都没有。

好在替代的方案，也能满足现有的研究须求。

就是需要牺牲一点质量。

比如化学抛光设备，就可以通过机械抛光+化学腐蚀来替代。

不过对于光刻机。

江阳提出了不一样的要求。

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