甚至就连接触式的光刻机都不够用。
唯一的办法。
只有将扫描式光刻机搞出来。
-江阳挠挠头，看着瑶光给的资料。
头皮有点发麻。
投影式的研究难度，远超接触式。
不仅光学系统需要高分辨率、低畸变的投影透镜组。
还需要精密的运动控制。
简单来说。
就是晶圆太与掩膜台需纳米级的同步运动。
纳米级啊！
这放到现在，压根儿没有半点实现的基础。
念及此处。
江阳只好将目标转向接触式光刻机。
有梦想是好事。
但也得考虑现实。
比起花上几年时间，几千万投入去研究投影式光刻机。
先把接触式光刻机搞出来，无疑更加划算。
而且一定程度上。
也能够积累技术经验，增加投影式光刻机研制成功的概率。
本章未完，点击下一页继续阅读