第407章 出题与解题
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“林总,我想向您再三强调,佳能的nil技术拥有极大缺陷,它绝对不像佳能所宣传的那样友好!
它存在着至关重要,几乎,在我看来无法解决的缺陷!”
申海交通大学,前沿技术中心,此次带队前往霓虹栃木县的宇都宫市,负责从佳能光学技术研究所全套接收nil技术的陈磊博士说道。
陈磊博士,是华国顶尖凝聚态物理领域的专家,此前在阿美莉卡的德克萨斯州电子研究所工作,是华国花费大力气才引进回国的人才。
也是在座众人中,唯一和佳能的nil光刻机实际接触过的华国工程师。
佳能在2023年10月正式宣布推出其首款用于商业化生产的nil设备fpa-1200nz2c,并成功交付给铠侠、sk海力士等存储大厂以及阿美莉卡的研发机构。
让设备可以在客户的工厂里进行验证、测试和工艺磨合。
其中阿美莉卡负责接收nil设备的就是德克萨斯电子研究所,它也是阿美莉卡半导体研发联盟的核心成员之一。
而德克萨斯电子研究所拿到这台设备,不是用于生产,而是用于先进半导体的研发和原型制作。
林燃点了点头,示意陈磊继续说下去。
这还是这位nil领域唯一的华国工程师回国后,他一样,盖在它接触的每一个芯片单元上。
更可怕的是,这个颗粒可能会污染模板,让模板本身成为一个污染源,在后续的每一片晶圆上,不断地、重复地复制这个缺陷。
这不是一个点的问题,而是一条线的、一个面的灾难。
我们称之为defectpropagation,缺陷传播。
在德州电子研究所,我们曾经有一个项目,就是因为一次微小的污染,导致连续报废了13片晶圆,直接损失超过80万美元。
佳能的解决方案是什么?加强清洁,实时检测。
但这背后意味着生产线需要频繁地停机、检测、清洗模板。
其损失的产能和时间成本,会疯狂地吞噬它在设备采购上省下的钱!
这就是缺陷瀑布,一旦开闸,瞬间冲垮你的良率和成本防线。”
陈磊继续说道:“然后是材料学的黑箱。
nil技术的核心,除了设备,还有一样东西,光刻胶,或者说,他们称之为树脂。
这已经和我们过去理解的光刻胶有本质的区别。
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