第17章 光刻机的心脏病

狂欢的海洋因林天一句话而冻结。

马文博高举着林天的动作僵在半空，脸上的狂喜迅速褪去。

“眼睛不够亮，心脏跳得不够快。”

这句奶声奶气的评价，也像一盆冰水，浇灭了在场所有人的热情。

马文博缓缓将林天放下，蹲下身，视线与他齐平，语气前所未有的郑重：“林总工，请您指示。”

整个光刻机调试大厅，数百名顶尖专家学者，鸦雀无声，所有人的目光都汇聚在这个三岁的孩子身上。

“抱我过去看看。”

林天指了指那台价值连城的庞大机器。

一名离得最近的工程师立刻上前，小心翼翼地将林天抱起，稳稳地托着他走向光刻机的核心部位——那套被重重保护的光学透镜组。

林天的小脸几乎贴在了防尘玻璃上，他伸出胖乎乎的手指，点在玻璃上，正对着一组内部的复杂镜片上。

“眼睛，就是这里。”

此时，国内光学界当之无愧的泰斗，白发苍苍的张教授，忍不住上前一步，低声道：“林总工，这套定制的非球面镜组，已经是全球最高精度的镜组，材料也是热膨胀系数最低的特种石英玻璃”

“不够。”

林天奶声奶气的声音打断了张教授的发言。

“极紫外光不是小小的手电筒，它更像是炮弹。

每一发光子打在镜片上，都会产生热量。

所以这组镜片在光刻过程中，会发生纳米级的热形变。

纳米级形变！

张教授和他的团队脸色剧变。

这个词像一道惊雷劈在他们心头。

这是他们团队耗费数年，用尽一切手段都无法完全消除的终极难题，是限制精度的魔鬼。

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